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摘要:本文件规定了电子工业用羰基硫的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子工业中作为特种气体使用的羰基硫,主要用于半导体、光电子器件的生产过程。
Title:Electronic gases - Carbonyl sulfide - Specification and test methods
中国标准分类号:H63
国际标准分类号:71.100.99
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拓展解读
GBT 43773-2024 是关于电子气体中羰基硫的最新国家标准,该标准详细规定了羰基硫在电子气体中的检测方法、质量要求及测试流程。以下是该标准的主要内容及其与老版本(假设为GB/T 43773-XXXX)的主要变化。