电子气体　羰基硫 GBT 43773-2024

摘要：本文件规定了电子工业用羰基硫的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子工业中作为特种气体使用的羰基硫，主要用于半导体、光电子器件的生产过程。
Title：Electronic gases - Carbonyl sulfide - Specification and test methods
中国标准分类号：H63
国际标准分类号：71.100.99

电子气体 羰基硫 GBT 43773-2024

GBT 43773-2024 是关于电子气体中羰基硫的最新国家标准，该标准详细规定了羰基硫在电子气体中的检测方法、质量要求及测试流程。以下是该标准的主要内容及其与老版本（假设为GB/T 43773-XXXX）的主要变化。

主要内容

• 适用范围： 适用于电子工业中使用的羰基硫纯度和杂质含量的检测。
• 检测方法： 包括气相色谱法和质谱联用技术，用于精确测定羰基硫的浓度。
• 质量指标： 对羰基硫的纯度和杂质含量设定了更高的要求，以满足现代电子工业的需求。
• 测试条件： 明确了样品采集、储存和测试的具体环境条件，确保结果的准确性。

与老版本的变化

• 检测灵敏度提升： 新标准引入了更先进的质谱联用技术，提高了对低浓度羰基硫的检测灵敏度。
• 质量指标更严格： 对羰基硫纯度的要求从99.9%提高到99.99%，并新增了对特定杂质的限制。
• 测试流程优化： 更新了样品采集和处理步骤，减少了人为误差，提高了测试的一致性。
• 环境要求更明确： 新标准对测试环境的温度、湿度等参数提出了更具体的要求，以确保测试结果的可靠性。