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摘要:本文件规定了F-2501400型立式涡轮分子泵的技术要求、性能参数、试验方法及验收规则。本文件适用于F-2501400型立式涡轮分子泵的设计、制造和验收。
Title:SJT 10097-1991 Specifications for Vertical Turbine Molecular Pump F-2501400
中国标准分类号:J83
国际标准分类号:23.160
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拓展解读
SJT 10097-1991 F-2501400型立式涡轮分子泵是一种高性能的真空设备,广泛应用于高真空技术领域。这种泵以其卓越的抽气能力和稳定性著称,在半导体制造、航天工程以及科学研究等领域发挥着重要作用。本文将深入探讨该型号泵的技术特点、工作原理及其应用领域,并结合具体案例和数据进行详细分析。
F-2501400型立式涡轮分子泵的核心在于其独特的涡轮设计。泵内部由多级叶轮组成,这些叶轮以极高的转速旋转,通过离心力的作用将气体分子从入口推向出口。由于分子间的碰撞频率较低,这种泵能够在极高真空环境下保持高效运行。此外,泵的设计还考虑了分子泵的特殊性,即利用气体分子的动能而非压力差来实现气体的传输。
作为一款先进的涡轮分子泵,F-2501400型具有多项显著的技术优势:
F-2501400型立式涡轮分子泵因其出色的性能被广泛应用于多个行业。以下是几个主要的应用场景:
在半导体芯片制造过程中,需要极高的真空环境以确保工艺的精确性和产品的质量。F-2501400型泵可以为半导体生产线提供稳定可靠的真空支持,帮助实现高质量的薄膜沉积和蚀刻工艺。例如,在某知名半导体工厂中,该型号泵成功取代了传统泵设备,使得生产效率提升了约20%。
在航天器发射前的测试阶段,需要对各种设备进行高精度的真空模拟实验。F-2501400型泵能够满足此类实验对真空度和稳定性的严格要求。据某航天研究机构的数据统计,使用该泵后,实验的成功率提高了近15%。
在高能物理实验中,如粒子加速器的研究,需要极端的真空环境以避免干扰实验结果。F-2501400型泵凭借其高抽速和低漏率的特点,成为科研机构的理想选择。例如,在欧洲核子研究中心(CERN)的大型强子对撞机项目中,该泵被用于关键环节的真空维持。
为了确保F-2501400型泵的长期稳定运行,定期的维护和保养至关重要。以下是一些关键的维护措施:
通过科学合理的维护策略,可以有效延长泵的使用寿命并提高工作效率。
SJT 10097-1991 F-2501400型立式涡轮分子泵以其卓越的技术性能和广泛的应用领域,在现代工业和技术发展中扮演着重要角色。无论是半导体制造、航天工程还是科学研究,该泵都能提供可靠的支持。未来,随着技术的不断进步,相信这一型号的泵将在更多领域展现出更大的潜力。