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资源简介
摘要：本文件规定了半导体显示用高碱浓度负胶显影液的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体显示领域中使用的高碱浓度负胶显影液。
Title：Specification for High Alkali Concentration Negative Resist Developer Used in Semiconductor Display
中国标准分类号：L80
国际标准分类号：25.160 -
封面预览
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拓展解读
在解读TCEMIA 036-2023《半导体显示用高碱浓度负胶显影液》时，可以重点关注“显影液电导率范围”这一指标的变化。相比旧版标准，新版对显影液电导率的要求更加严格。
以显影液电导率为例，老版标准中规定为15~25ms/cm，而新版则调整为18~22ms/cm。这种变化主要是为了更好地控制显影过程中的化学反应速率，从而提高显影均匀性。
应用时需要注意以下几点：首先，在生产过程中要确保原材料的质量稳定，特别是溶剂和添加剂的选择；其次，严格控制配制温度和搅拌时间，避免因操作不当导致电导率超出范围；最后，在使用前应对显影液进行充分过滤，去除杂质颗粒，保证其纯度符合要求。
通过这些措施，可以有效提升显影效果，满足高端半导体显示产品的需求。
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