资源简介
摘要:本文件规定了立式涡轮分子泵的型式、基本参数和技术要求。本文件适用于立式涡轮分子泵的设计、制造和验收。
Title:Vertical Turbo Molecular Pump Types and Basic Parameters
中国标准分类号:J82
国际标准分类号:23.140
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拓展解读
在遵循“SJ 3192-1989立式涡轮分子泵型式与基本参数”标准的前提下,通过灵活执行和优化流程,可以有效降低成本并提升效率。以下是针对核心业务环节提出的10项弹性方案。