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资源简介
摘要：本文件规定了高纯四氯化硅中硼及金属杂质的化学光谱分析方法。本文件适用于高纯四氯化硅产品质量控制及检测。
Title：Chemical Spectral Analysis Method for Boron and Metal Impurities in High-Purity Silicon Tetrachloride
中国标准分类号：H61
国际标准分类号：71.040.30 -
封面预览
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拓展解读
主要内容
该标准规定了采用化学光谱法对高纯四氯化硅中硼及金属杂质进行分析的方法。此方法适用于检测高纯四氯化硅中痕量的硼及其他金属杂质。
对比与老版本的变化
- 样品前处理： 新版改进了样品的溶解和净化步骤，提高了检测的灵敏度和准确性。
- 仪器设备： 引入了更先进的光谱仪设备，增强了测量精度。
- 检测限： 新版降低了检测限，能够检测更低浓度的杂质。
- 操作流程： 对操作步骤进行了优化，减少了人为误差的可能性。
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