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摘要:本文件规定了压阻真空计的计量性能要求、技术要求、通用技术条件和检定方法。本文件适用于量程范围为10^3 Pa~10^-2 Pa的压阻真空计的首次检定、后续检定和使用中检验。
Title:Verification Regulation for Piezoresistive Vacuum Gauge
中国标准分类号:A61
国际标准分类号:17.200
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拓展解读
该规程规定了压阻真空计的检定方法、技术要求和检定步骤,适用于新制造、使用中和修理后的压阻式真空计的检定。