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资源简介
摘要：本文件规定了干涉显微镜的计量性能要求、检定条件、检定项目和方法。本文件适用于干涉显微镜的首次检定、后续检定和使用中检验。
Title：Interferometric Microscope Verification Regulation
中国标准分类号：J32
国际标准分类号：17.040.20 -
封面预览
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拓展解读
概述
JJG 77-1983 是关于干涉显微镜的检定规程，用于规范干涉显微镜的技术要求和检定方法。以下是其主要内容及与老版本的变化对比。
主要内容
- 测量范围：规定了干涉显微镜的测量范围和精度要求。
- 光学系统：详细描述了干涉显微镜的光学系统设计和校准方法。
- 检定项目：
- 分辨率测试
- 垂直度校准
- 表面粗糙度测量准确性
- 操作规范：明确了干涉显微镜的操作步骤和注意事项。
与老版本的变化
- 测量精度提升：新版本提高了对干涉显微镜测量精度的要求。
- 新增项目：
- 增加了对新型光学材料的适用性要求。
- 引入了数字化数据处理的相关内容。
- 简化流程：优化了部分检定流程，减少了不必要的步骤。
- 技术更新：反映了近年来干涉显微镜技术的发展和实际应用需求。
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