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  • JJG 77-1983 干涉显微镜

    JJG 77-1983 干涉显微镜
    干涉显微镜计量检定规程表面粗糙度光学仪器精密测量
    15 浏览2025-06-07 更新pdf0.27MB 未评分
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    摘要:本文件规定了干涉显微镜的计量性能要求、检定条件、检定项目和方法。本文件适用于干涉显微镜的首次检定、后续检定和使用中检验。
    Title:Interferometric Microscope Verification Regulation
    中国标准分类号:J32
    国际标准分类号:17.040.20

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    JJG 77-1983 干涉显微镜
  • 拓展解读

    概述

    JJG 77-1983 是关于干涉显微镜的检定规程,用于规范干涉显微镜的技术要求和检定方法。以下是其主要内容及与老版本的变化对比。

    主要内容

    • 测量范围:规定了干涉显微镜的测量范围和精度要求。
    • 光学系统:详细描述了干涉显微镜的光学系统设计和校准方法。
    • 检定项目:
      • 分辨率测试
      • 垂直度校准
      • 表面粗糙度测量准确性
    • 操作规范:明确了干涉显微镜的操作步骤和注意事项。

    与老版本的变化

    • 测量精度提升:新版本提高了对干涉显微镜测量精度的要求。
    • 新增项目:
      • 增加了对新型光学材料的适用性要求。
      • 引入了数字化数据处理的相关内容。
    • 简化流程:优化了部分检定流程,减少了不必要的步骤。
    • 技术更新:反映了近年来干涉显微镜技术的发展和实际应用需求。
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