资源简介
摘要:本文件规定了四探针电阻率测试仪的计量性能要求、技术要求、通用技术条件及检定方法。本文件适用于采用四探针法测量半导体材料电阻率的测试仪的首次检定、后续检定和使用中检查。
Title:Four-point Probe Resistivity Tester
中国标准分类号:A46
国际标准分类号:17.220.20
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拓展解读
JJG 508-2004《四探针电阻率测试仪》是中国国家计量检定规程,用于规范四探针电阻率测试仪的性能要求、检定项目和方法。该标准适用于以四探针法测量半导体材料电阻率的仪器。