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摘要:本文件规定了光切显微镜的计量特性、校准条件、校准项目和校准方法。本文件适用于光切显微镜的校准,用于测量表面粗糙度和其他几何量。 Title:Calibration Specification for Optical Section Microscope 中国标准分类号:J76 国际标准分类号:17.040.20
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拓展解读
该规范规定了光切显微镜的校准方法和要求,适用于新生产的、使用中的以及修复后的光切显微镜。
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