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资源简介
摘要：本文件规定了半导体用透明石英玻璃管的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体工业中用作反应器和其他器件的透明石英玻璃管。
Title：Transparent Quartz Glass Tubes for Semiconductor Use
中国标准分类号：H63
国际标准分类号：29.045 -
封面预览
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拓展解读
概述
JCT 755-1988(96)《半导体用透明石英玻璃管》是关于半导体行业中使用的透明石英玻璃管的标准规范。该标准对透明石英玻璃管的性能、规格和测试方法进行了详细规定。
主要内容
- 材料要求:
- 透明石英玻璃管应由高纯度石英材料制成。
- 玻璃管的光学透过率需达到特定指标。
- 尺寸公差:
- 规定了玻璃管的外径、内径和长度的允许偏差范围。
- 机械性能:
- 包括抗压强度、抗弯强度等指标。
- 环境适应性:
- 耐高温、耐腐蚀等性能的要求。
与老版本的变化
- 材料纯度提升: 新版标准对石英材料的纯度提出了更高的要求。
- 光学性能优化: 增加了对玻璃管光学透过率的具体数值要求。
- 尺寸精度提高: 对玻璃管的尺寸公差进行了更严格的限定。
- 新增测试项目: 引入了一些新的测试方法以确保玻璃管的可靠性和一致性。
- 材料要求:
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