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资源简介
摘要：本文件规定了半导体用透明石英玻璃管的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体工业中用作反应器和其他器件的透明石英玻璃管。
Title：Transparent Quartz Glass Tubes for Semiconductor Use
中国标准分类号：H65
国际标准分类号：21.040.99 -
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拓展解读
概述
JCT 597-1995《半导体用透明石英玻璃管》是中国的一项标准，用于规范半导体行业中使用的透明石英玻璃管的技术要求和检测方法。以下是该标准的主要内容及其与老版本的变化。
主要内容
- 材料成分: 标准规定了透明石英玻璃管的化学成分，确保其具有高纯度和良好的光学性能。
- 物理性能: 包括密度、折射率、透光率等指标，以满足半导体制造的需求。
- 机械性能: 对玻璃管的强度、硬度等进行详细规定，确保在使用过程中的可靠性。
- 检测方法: 提供了一系列检测手段，用于验证玻璃管是否符合标准要求。
与老版本的变化
- 更严格的纯度要求: 新版标准对材料纯度的要求更高，以适应现代半导体技术的发展。
- 新增检测项目: 引入了一些新的检测项目，如环境友好性测试，以符合环保要求。
- 优化生产工艺: 对生产过程进行了优化，提高了产品的稳定性和一致性。
- 增强适用范围: 扩大了标准的应用范围，涵盖了更多类型的半导体设备。
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