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资源简介
摘要：本文件规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体工业中使用的透明石英玻璃器件。
Title：Transparent Quartz Glass Devices for Semiconductor Use
中国标准分类号：H52
国际标准分类号：29.045 -
封面预览
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拓展解读
概述
JCT 181-2011《半导体用透明石英玻璃器件》是关于半导体行业中使用的透明石英玻璃器件的技术标准。该标准对透明石英玻璃器件的性能要求、测试方法以及质量控制等方面进行了详细规定。
主要内容
- 材料性能：明确了透明石英玻璃的光学性能（如透光率）、机械性能（如硬度）和热学性能（如热膨胀系数）的具体指标。
- 制造工艺：规范了透明石英玻璃器件的生产流程，包括原料选择、熔炼工艺、成型工艺等。
- 检验方法：详细描述了如何检测透明石英玻璃器件的各项性能指标，确保产品质量符合标准。
- 应用领域：主要应用于半导体制造中的关键设备，如光刻机、反应腔等。
与老版本的变化
- 性能提升：相比老版本，2011版提高了透明石英玻璃的光学均匀性和热稳定性要求。
- 新增内容：增加了对环保材料的要求，并引入了更严格的表面处理标准。
- 测试方法改进：更新了部分测试方法，使其更加精确和高效。
- 适用范围扩展：扩大了标准的应用范围，涵盖了更多类型的半导体设备。
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