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摘要:本文件规定了立式涡轮分子泵的术语和定义、型式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装和贮存。本文件适用于立式涡轮分子泵的设计、制造和验收。
Title:Vertical Turbo Molecular Pump
中国标准分类号:J82
国际标准分类号:23.140
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拓展解读
JBT 9125-1999 是中国国家标准化管理委员会发布的关于立式涡轮分子泵的标准文件。这一标准详细规定了立式涡轮分子泵的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等内容。作为高真空技术领域的重要设备之一,立式涡轮分子泵广泛应用于半导体制造、航天工业、科研实验等领域,其性能直接影响到相关行业的生产效率与产品质量。
立式涡轮分子泵的核心优势在于其高效能的抽气能力。它通过高速旋转的叶轮将气体分子加速排出,从而实现对极高真空环境的维持。根据标准要求,这类泵需要满足严格的机械精度和运行稳定性,以确保在极端工况下的可靠工作。例如,在半导体晶圆制造过程中,立式涡轮分子泵能够提供洁净无尘的真空环境,这对于保证芯片质量至关重要。
从实际应用来看,立式涡轮分子泵在航空航天领域的表现尤为突出。例如,我国自主研发的长征系列运载火箭在发射前,会利用此类设备对推进系统进行深度真空处理,以减少残余气体对燃料燃烧的影响。据统计,自 2010 年以来,长征系列火箭的成功率达到 97% 以上,这离不开高性能真空设备的支持。
此外,JBT 9125-1999 还强调了环保因素。现代立式涡轮分子泵设计时注重降低能耗和噪音污染,符合国际绿色制造趋势。例如,某知名真空设备制造商推出的一款型号,其能耗比传统产品降低了 20%,并获得了多项环保认证。
综上所述,JBT 9125-1999 标准不仅规范了立式涡轮分子泵的设计与生产流程,也推动了相关行业技术进步与产业升级。未来,随着新材料和新技术的应用,这种泵将在更多高科技领域发挥重要作用。