资源简介
摘要:本文件规定了真空溅射镀膜设备的术语和定义、分类与型号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空环境下采用磁控溅射、二极溅射等工艺进行镀膜的设备。
Title:Vacuum Sputtering Coating Equipment
中国标准分类号:J25
国际标准分类号:25.220.30
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拓展解读
在遵循 JBT 8945-2010 真空溅射镀膜设备 标准的前提下,通过优化流程和降低成本,以下是10项可行的弹性方案: