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摘要:本文件规定了半导体器件外延炉的能耗指标、测试方法和节能要求。本文件适用于半导体器件生产中外延炉的能耗评估与管理。
Title:Energy Consumption Standard for Epitaxial Furnaces in Semiconductor Devices
中国标准分类号:M42
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
JBT 5631-1991是中国针对半导体器件外延炉制定的一项能耗标准,旨在规范设备的能效水平,提高能源利用效率。
该标准规定了半导体器件外延炉在生产过程中的能耗限值及测试方法。具体内容包括:
随着半导体产业的发展,外延炉作为关键生产设备,其能耗直接影响企业的运营成本和环保表现。制定该标准的目的在于推动行业技术进步,减少能源浪费,促进可持续发展。
根据JBT 5631-1991的规定,外延炉的能耗限值按功率等级划分,通常分为以下几类:
测试方法如下:
如果发现设备能耗超标,企业可以采取以下措施:
该标准主要适用于半导体器件制造领域使用的外延炉,但不包括特殊用途或非标定制设备。对于其他类型设备,可能需要参照其他相关标准。
截至目前,JBT 5631-1991仍然是现行有效的国家标准。不过,随着技术进步,未来可能会出台更严格的能耗标准,请关注官方发布的信息。
企业在选择供应商时应注意以下几点: