资源简介
摘要:本文件规定了溅射离子泵的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装和贮存。本文件适用于以钛为主要吸气材料的溅射离子泵,其他类型的溅射离子泵也可参照执行。
Title:Sputter Ion Pump - Technical Specifications
中国标准分类号:J80
国际标准分类号:23.160
封面预览
拓展解读
在遵循JBT 4082-1991《溅射离子泵 技术条件》的前提下,通过灵活执行和优化流程,可以在保证产品质量的同时降低生产成本。以下是针对核心业务环节提出的10项弹性方案。