JBT 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法

概述

JBT 2965-1992《溅射离子泵性能测试方法》是中国关于溅射离子泵性能测试的一项标准。以下是该标准的主要内容以及与老版本的对比。

主要内容

• 适用范围: 本标准适用于溅射离子泵的性能测试，包括抽气速率、极限真空度等关键参数。
• 测试条件: 明确了测试所需的环境条件，如温度、湿度和电源要求。
• 测试方法:
  • 抽气速率测试: 使用标准气体流量计进行测量。
  • 极限真空度测试: 需要高精度的真空计。
• 数据记录与处理: 提供了详细的测试数据记录表格及计算公式。

与老版本的变化

• 更精确的测试设备: 新版本对测试仪器的精度要求更高，确保测试结果更加准确。
• 新增测试项目: 增加了对泵体材料耐腐蚀性的测试要求。
• 优化测试流程: 对测试步骤进行了简化，提高了测试效率。
• 更新参考标准: 引入了最新的国际标准作为参考依据。