TQGCML 1407-2023 半导体光伏制造用双套管密封装置

本文以《TQGCML 1407-2023 半导体光伏制造用双套管密封装置》中关于“泄漏率测试方法”的变化为例进行分析。

在旧版标准TQGCML 1407-2021中，泄漏率测试仅规定了使用氦质谱检漏仪进行检测，并要求泄漏率不得超过1×10^-8 Pa·m^3/s。然而，在新版标准TQGCML 1407-2023中，不仅保留了这一测试方式，还新增了采用气泡法作为辅助检测手段的要求，同时对泄漏率的上限进行了调整为5×10^-8 Pa·m^3/s。

这种修改主要是为了适应实际生产中的不同需求。氦质谱检漏仪虽然精度高、灵敏度好，但设备成本高昂且操作复杂；而气泡法简单易行、经济实惠，适合初步筛查。因此，在保证产品质量的同时，也兼顾了企业的成本控制问题。

应用时应注意以下几点：首先，在条件允许的情况下优先选用氦质谱检漏仪进行精确测量；其次，当无法实现氦质谱检测时，可以结合气泡法来进行补充验证；最后，无论采取哪种方式，都必须确保最终产品的泄漏率符合新的标准要求，即不超过5×10^-8 Pa·m^3/s。通过这样的双重保障机制，可以在提升检测效率的同时有效保证产品质量。