资源简介
摘要:本文件规定了硅谐振式压力传感器的术语和定义、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于硅谐振式压力传感器,其他类似产品的压力测量装置可参照执行。
Title:Silicon Resonant Pressure Sensor
中国标准分类号:O73
国际标准分类号:17.100
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拓展解读
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