TWHQASA 12-2024 10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座

在TWHQASA 12-2024中，对于化学气相沉积（CVD）设备使用的下部加热基座，有一项重要的更新是关于温度均匀性的要求。与旧版相比，新版标准对温度均匀性的测试频率和方法进行了更为严格的规定。

根据TWHQASA 12-2024中的第7.3节“温度均匀性”，新标准要求在每次设备维护后以及每运行50个周期后，必须重新评估下部加热基座的温度均匀性。这一规定比以往更为频繁，目的是确保在整个设备生命周期内都能保持稳定的工艺条件。

具体应用时，操作人员需要按照以下步骤执行：

1. 准备阶段：首先确认设备已完全冷却，并完成所有必要的维护工作。

2. 设置测试点：根据设备设计，在下部加热基座表面布置多个测温点。这些点应覆盖整个工作区域，并且位置固定以便于对比不同时间点的数据。

3. 数据采集：使用经过校准的热电偶或其他合适的温度测量工具记录每个测温点的温度值。建议连续监测至少一小时以获得稳定读数。

4. 数据分析：计算各测温点之间的最大温差，并将其与允许偏差范围比较。如果超出限值，则需调整加热系统直至满足要求。

5. 记录存档：将每次测试的结果详细记录下来并妥善保存，作为日后验证设备性能的重要依据。

通过严格执行上述流程，不仅可以有效保证下部加热基座的工作状态始终处于最佳水平，还能及时发现潜在问题从而避免不必要的损失。这不仅符合最新行业规范的要求，同时也为企业提供了更加可靠的质量保障。