TCASAS 026-2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法

在TCAS AS 026-2023《碳化硅少数载流子寿命测定 微波光电导衰减法》中，有一项重要的变化是关于样品制备的要求。新版本对样品表面状态和清洁度提出了更严格的规定。

在旧版标准中，对于样品表面仅要求\"无明显污染\"。而在新版标准中，则明确规定：\"样品表面应洁净无油污、无指纹、无任何可能影响测量结果的附着物。推荐使用酒精棉球轻轻擦拭样品表面进行清洁，并确保完全干燥后再进行测试。\"

这一改动主要是基于近年来对测试精度要求的提高以及实际操作经验的积累。过于油腻或者有指纹残留的样品表面会改变材料的表面特性，从而影响光生载流子的产生与传输过程，进而影响测量结果的准确性。通过增加具体的清洁步骤，可以有效减少外界因素对实验结果的影响，提高不同实验室间数据的可比性。

例如，在实际操作过程中，如果样品表面存在油脂或指纹，当激光脉冲照射到样品上时，这些杂质可能会吸收部分能量，导致光生载流子密度分布发生变化，最终影响到测量得到的少数载流子寿命值。因此严格按照新版标准中的样品准备要求执行，能够确保获得更加准确可靠的测试数据。