资源简介
摘要:本文件规定了硅抛光片表面质量的目测检验方法,包括检验条件、操作步骤和结果判定。本文件适用于直径为100mm至300mm的硅抛光片表面缺陷的目测检验。
Title:Visual Inspection Method for Surface Quality of Silicon Polished Wafers
中国标准分类号:H22
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
根据GB/T 6624-2009《硅抛光片表面质量目测检验方法》的要求,为了在确保检测质量的同时提高效率并降低成本,以下10项弹性方案可供参考。