资源简介
摘要:本文件规定了用石英晶体振荡法测定气体中微量水分的方法。本文件适用于各种气体中微量水分的测定,通常适用于水分含量在0.1 μg/g~1 000 μg/g范围内的气体样品。
Title:Gas analysis - Determination of trace water - Part 4: Quartz crystal oscillation method
中国标准分类号:B46
国际标准分类号:71.040.50
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拓展解读
GBT 5832.4-2020是中国国家标准中关于气体分析的一项重要规范,其中第四部分专门介绍了石英晶体振荡法用于测定气体中的微量水分。这种方法以其高灵敏度和精确性,在工业生产和科研领域中得到了广泛应用。
石英晶体振荡法的核心在于利用石英晶体的谐振频率变化来检测气体中的水分含量。当含有水分的气体通过石英晶体表面时,水分会附着在晶体表面,导致其质量发生变化。这种质量的变化会直接影响到晶体的谐振频率,从而可以通过测量频率的变化来推算出气体中水分的浓度。
石英晶体振荡法相较于传统方法,如电解法或露点法,具有显著的技术优势:
这一技术广泛应用于半导体制造、医药生产以及天然气输送等行业,确保了产品质量和生产安全。
以半导体行业为例,芯片制造过程中对气体纯度的要求极高,尤其是对水分的控制。某知名半导体企业采用GBT 5832.4-2020标准中的石英晶体振荡法,成功将气体中水分含量控制在1 ppm以下,显著提高了产品良品率,降低了生产成本。
此外,根据某天然气输送公司的数据显示,使用该方法后,管道内气体的水分含量监测精度提升了约30%,有效避免了因水分超标而导致的设备腐蚀问题。
GBT 5832.4-2020中规定的石英晶体振荡法为气体中微量水分的测定提供了科学可靠的方法。随着工业需求的不断增长,这项技术将继续发挥重要作用,推动相关行业的高质量发展。