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资源简介
摘要：本文件规定了电子级四氟甲烷的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以化学合成法制得的电子级四氟甲烷，主要用于半导体工业中的等离子刻蚀和薄膜制备。
Title：Electronic gases - Tetrafluoromethane
中国标准分类号：H61
国际标准分类号：71.100.99 -
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拓展解读
GBT 43976-2024 电子气体 四氟甲烷
GBT 43976-2024 是关于电子气体中四氟甲烷的标准规范，主要用于指导四氟甲烷气体在电子工业中的应用和质量控制。以下是该标准的主要内容及其与老版本的变化。
主要内容
- 纯度要求：规定了四氟甲烷的纯度指标，确保其在电子工业中的适用性。
- 杂质限制：详细列出了可能存在的杂质种类及其最大允许含量。
- 检测方法：提供了多种检测方法以确保产品质量符合标准。
- 包装与储存：明确了四氟甲烷的包装材料、运输和储存条件。
与老版本的变化
- 更严格的纯度标准：新版本提高了对四氟甲烷纯度的要求，以适应更高精度的电子工业需求。
- 新增杂质种类：相较于旧版，新版增加了部分可能影响电子器件性能的新杂质。
- 改进检测技术：引入了更先进的检测技术和设备，提高检测的准确性和效率。
- 更新包装要求：对包装材料提出了更高的环保要求，并优化了储存环境的温湿度控制。
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