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摘要:本文件规定了亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻的测量方法,包括测量原理、设备要求、样品制备、测试步骤和数据处理。本文件适用于亚纳米厚度石墨烯薄膜材料性能的表征与评价。
Title:Nanotechnologies - Measurement methods for carrier mobility and sheet resistance of graphene films with sub-nanometer thickness
中国标准分类号:L80
国际标准分类号:19.060
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拓展解读
GBT 43682-2024 是一项关于纳米技术的重要标准,旨在规范亚纳米厚度石墨烯薄膜的载流子迁移率及方块电阻测量方法。这项标准的出台不仅填补了石墨烯材料特性评估领域的空白,还为相关科研机构和生产企业提供了统一的技术依据,从而推动石墨烯材料在电子、能源等领域的广泛应用。
石墨烯作为一种二维碳材料,以其优异的电学性能著称,其载流子迁移率和方块电阻是衡量材料质量的关键指标。载流子迁移率反映了电子在材料中的移动能力,而方块电阻则表征了材料的导电性能。这两项参数直接影响石墨烯在器件制造中的表现。因此,准确测量这些参数对于材料研发和应用至关重要。
GBT 43682-2024 提供了多种测量方法,包括霍尔效应测试法和四探针法。霍尔效应测试法通过施加磁场来观察载流子的行为,从而计算迁移率;而四探针法则通过电流电压关系直接测定方块电阻。这两种方法各有优劣,适用于不同场景。例如,在高精度要求下,霍尔效应测试法更为适用,而在批量生产中,四探针法则因其操作简便而受到青睐。
以某知名半导体公司为例,该公司利用 GBT 43682-2024 标准对一批石墨烯薄膜进行了全面测试。结果显示,这批薄膜的载流子迁移率高达 2000 cm²/V·s,方块电阻仅为 100 Ω/sq。这一优异性能使其成功应用于高性能晶体管的研发中,显著提升了器件的工作效率。
随着石墨烯材料研究的不断深入,GBT 43682-2024 的应用范围将进一步扩大。未来,该标准有望被更多国家采纳,成为国际通用的技术准则。同时,结合人工智能和大数据技术,测量过程将更加智能化,为石墨烯材料的创新应用提供更多可能性。