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摘要:本文件规定了用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨率的定义和校准方法。本文件适用于使用电扫描探针显微镜进行材料表面化学分析及相关应用的领域。
Title:Surface chemical analysis - Scanning probe microscopy - Definition and calibration of spatial resolution for electrostatic scanning probe microscopy (ESPM) used in 2D dopant imaging etc.
中国标准分类号:J74
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
在遵循标准 GBT 43661-2024 的核心原则下,通过优化流程和降低成本,可以从多个方面提升灵活性。以下是针对表面化学分析中电扫描探针显微镜(ESPM)空间分辨定义和校准的10项弹性方案。
以上方案旨在通过灵活执行和优化流程,有效降低运行成本,同时保持高标准的技术要求。