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摘要:本文件规定了硅片表面光泽度的测试方法,包括测试原理、仪器设备要求、样品制备、测试步骤和结果计算。本文件适用于单晶硅片、多晶硅片以及其他类型硅片表面光泽度的测量与评估。
Title:Test Method for Surface Gloss of Silicon Wafers
中国标准分类号:L80
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
在遵守GB/T 42789-2023标准的前提下,通过优化测试流程和资源利用,可以有效降低测试成本并提升效率。以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案。