GBT 42721-2023 电子特气 一氧化氮

GBT 42721-2023 电子特气 一氧化氮

GBT 42721-2023 是关于电子特气中一氧化氮的标准，用于规范一氧化氮气体在半导体制造和其他高精尖技术领域的应用。以下是该标准的主要内容及与老版本的变化。

主要内容

• 纯度要求：明确了不同用途下一氧化氮的最低纯度要求，例如用于半导体制造时需要达到99.999%以上的纯度。
• 杂质控制：详细规定了各种杂质的限量，包括水分、氧气、二氧化碳等，并增加了对某些新杂质的检测要求。
• 包装与运输：更新了包装材料的要求，确保在运输过程中不会污染气体，并提出了更严格的运输安全措施。
• 检测方法：引入了新的检测技术和设备，提高了检测的准确性和效率。

与老版本的变化

• 更高的纯度标准：相比老版本，新版标准对纯度的要求更高，以适应现代工业对高纯度气体的需求。
• 新增杂质种类：老版本中未提及的一些杂质，在新版中被列为检测项目，以确保气体质量。
• 改进的检测技术：引入了更先进的检测手段，提高了检测的灵敏度和可靠性。
• 更严格的安全要求：在包装和运输环节，新版标准提出了更严格的安全措施，以减少潜在风险。