资源简介
摘要:本文件规定了利用离子束辐照诱导应变法加工三维纳米结构与器件的方法、工艺参数及质量控制要求。本文件适用于基于离子束辐照技术制备的三维纳米结构与器件的研发和生产。
Title:Nanotechnologies - Fabrication method of 3D nanostructures and devices by ion beam irradiation-induced strain method
中国标准分类号:L80
国际标准分类号:37.120
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拓展解读
在遵循GBT 42106-2022
标准的前提下,通过深入分析三维纳米结构与器件的加工方法,特别是离子束辐照诱导应变法的核心业务环节,我们提出了以下10项弹性方案,旨在提升灵活性、优化流程并降低生产成本。