资源简介
摘要:本文件规定了用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法。本文件适用于表面化学分析中涉及的材料深度剖析研究。
Title:Surface chemical analysis - Depth profiling - Methods for determining sputter rates using single and multi-layer films for X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry
中国标准分类号:J82
国际标准分类号:71.040.50
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拓展解读
在执行“GBT 41064-2021”标准时,通过灵活调整流程和资源分配,可以有效优化操作效率并降低运行成本。以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案。