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摘要:本文件规定了电子工业用氟甲烷的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和安全要求。本文件适用于电子工业用氟甲烷,主要用作等离子刻蚀气体。 Title:Electronic specialty gas - Fluoromethane 中国标准分类号:H21 国际标准分类号:25.060
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拓展解读
在遵循GBT 40418-2021标准的前提下,通过优化核心业务环节,可以有效提升效率并降低成本。以下是10项可行的弹性方案。
GBT 40418-2021
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