资源简介
摘要:本文件规定了靶材与背板结合强度的测试方法,包括试样的制备、测试设备的要求、测试步骤及结果计算。本文件适用于溅射靶材与背板结合强度的评估。
Title:Test Method for Adhesion Strength between Sputtering Target and Backing Plate
中国标准分类号:H45
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
在遵循“GBT 39163-2020”标准的前提下,通过灵活执行和优化流程,可以有效降低测试成本并提升效率。以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案。