-
资源简介
摘要：本文件规定了氧化铟锡靶材中铟、锡、铁、铬、镍、铜、钛、锌、铝、钙、镁、锰、钠、钾等元素含量的化学分析方法。本文件适用于氧化铟锡靶材中上述元素含量的测定。
Title：Chemical analysis methods for indium tin oxide sputtering targets
中国标准分类号：H41
国际标准分类号：77.120.99 -
封面预览
-
拓展解读
GBT 38389-2019 氧化铟锡靶材化学分析方法
GBT 38389-2019 是一项关于氧化铟锡（ITO）靶材化学分析方法的国家标准，用于规范和指导ITO靶材的质量检测。以下是该标准的主要内容及与老版本的变化。
主要内容
- 适用范围：规定了适用于ITO靶材中主要成分（如铟、锡、氧等）以及杂质元素的定量分析方法。
- 分析方法：
- 采用X射线荧光光谱法（XRF）进行主成分分析。
- 使用电感耦合等离子体发射光谱法（ICP-OES）测定微量元素。
- 详细描述了样品制备、仪器校准、数据处理等步骤。
- 质量要求：明确了ITO靶材中各元素含量的合格范围，并提供了相应的检测精度要求。
与老版本的变化
- 方法改进：
- 引入了更先进的XRF技术，提高了检测的灵敏度和准确性。
- 优化了ICP-OES的操作流程，缩短了分析时间。
- 覆盖范围扩展：增加了对新型杂质元素的检测要求，以适应ITO靶材在新兴领域的应用需求。
- 数据可靠性提升：强化了数据处理和报告的要求，确保结果的可追溯性和一致性。
-
下载说明预览图若存在模糊、缺失、乱码、空白等现象，仅为图片呈现问题，不影响文档的下载及阅读体验。 当文档总页数显著少于常规篇幅时，建议审慎下载。 资源简介仅为单方陈述，其信息维度可能存在局限，供参考时需结合实际情况综合研判。 如遇下载中断、文件损坏或链接失效，可提交错误报告，客服将予以及时处理。