GBT 38389-2019 氧化铟锡靶材化学分析方法

GBT 38389-2019 氧化铟锡靶材化学分析方法

GBT 38389-2019 是一项关于氧化铟锡（ITO）靶材化学分析方法的国家标准，用于规范和指导ITO靶材的质量检测。以下是该标准的主要内容及与老版本的变化。

主要内容

• 适用范围：规定了适用于ITO靶材中主要成分（如铟、锡、氧等）以及杂质元素的定量分析方法。
• 分析方法：
  • 采用X射线荧光光谱法（XRF）进行主成分分析。
  • 使用电感耦合等离子体发射光谱法（ICP-OES）测定微量元素。
  • 详细描述了样品制备、仪器校准、数据处理等步骤。
• 质量要求：明确了ITO靶材中各元素含量的合格范围，并提供了相应的检测精度要求。

与老版本的变化

• 方法改进：
  • 引入了更先进的XRF技术，提高了检测的灵敏度和准确性。
  • 优化了ICP-OES的操作流程，缩短了分析时间。
• 覆盖范围扩展：增加了对新型杂质元素的检测要求，以适应ITO靶材在新兴领域的应用需求。
• 数据可靠性提升：强化了数据处理和报告的要求，确保结果的可追溯性和一致性。