资源简介
摘要:本文件规定了使用原子力显微术(AFM)测定纳米薄膜厚度的方法,包括样品制备、测量步骤、数据处理和结果报告。本文件适用于各种材料的纳米薄膜厚度测量,尤其适用于厚度在纳米尺度范围内的薄膜。
Title:Nanotechnologies - Method for determining the thickness of nanofilms by atomic force microscopy
中国标准分类号:N13
国际标准分类号:07.080
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拓展解读
为了在遵守标准核心原则的基础上,进一步提升效率、降低成本并增强灵活性,以下是针对纳米薄膜厚度测定的10项弹性方案。