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资源简介
摘要：本文件规定了用X射线光电子能谱(XPS)对薄膜进行分析时，分析结果报告的内容和格式要求。本文件适用于使用XPS技术进行薄膜分析的结果报告。
Title：Surface chemical analysis - Reporting of X-ray photoelectron spectroscopy results for thin film analysis
中国标准分类号：J72
国际标准分类号：71.040.50 -
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拓展解读
GBT 36401-2018主要内容
GBT 36401-2018《表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告》规定了使用X射线光电子能谱（XPS）技术对薄膜样品进行分析时，如何报告分析结果的相关要求和规范。
对比老版本的变化
- 数据精度提升：新标准对数据的精确度提出了更高的要求，特别是在定量分析中，需要更准确地报告元素的相对含量。
- 报告格式优化：增加了对实验条件的详细说明部分，例如激发源、能量范围等信息，以便于结果的可重复性和验证。
- 新增参考文献：在附录中增加了相关的国际和国家标准作为参考，便于用户了解行业最新动态。
- 适用范围扩展：涵盖了更多类型的薄膜材料，包括纳米级薄膜和其他复杂结构的薄膜。
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