GBT 35049-2018 真空技术 四极质谱检漏方法

GBT 35049-2018 真空技术 四极质谱检漏方法常见问题解答

什么是GBT 35049-2018标准？

GBT 35049-2018是中国国家标准化管理委员会发布的关于真空技术中四极质谱检漏方法的标准。该标准规定了使用四极质谱仪进行泄漏检测的技术要求、操作步骤、设备校准及结果判定等内容，适用于各种真空系统和设备的泄漏检测。

四极质谱检漏的基本原理是什么？

四极质谱检漏的核心原理是利用四极杆质量分析器分离不同质量的气体分子，并通过检测特定质量的分子流来判断是否存在泄漏。当测试气体（如氦气）进入检测区域时，四极杆根据其质量选择性地捕获并传输目标分子，最终由电子倍增器检测信号强度，从而判断泄漏位置和大小。

为什么选择氦气作为检漏气体？

• 氦气具有较高的扩散性和较低的背景干扰，容易被四极质谱仪检测到。
• 氦气在大气中的浓度极低（约5ppm），不易受到环境干扰。
• 氦气无毒、无害、不燃，适合用于工业检测。

如何正确校准四极质谱检漏仪？

校准四极质谱检漏仪需要遵循以下步骤：

• 使用已知浓度的标准气体对仪器进行标定。
• 调整仪器参数以优化灵敏度和分辨率。
• 定期检查仪器的零点漂移和线性响应。
• 记录校准数据并保存校准曲线。

四极质谱检漏仪的主要组成部分有哪些？

• 离子源：用于产生带电粒子。
• 四极杆质量分析器：用于分离不同质量的分子。
• 检测器：用于接收并放大信号。
• 真空系统：提供稳定的低压环境。
• 控制与显示单元：用于操作和读取数据。

四极质谱检漏方法的优点有哪些？

• 灵敏度高，能够检测微小泄漏。
• 非破坏性检测，不会损坏被测设备。
• 可实现在线检测，提高生产效率。
• 适用范围广，可用于多种真空系统。

如何判断泄漏是否合格？

根据GBT 35049-2018标准，泄漏率小于或等于规定的限值（通常为1×10⁻⁸ Pa·m³/s）即视为合格。具体限值需根据设备类型和应用场景确定。

四极质谱检漏仪的维护注意事项有哪些？

• 定期清洁离子源和四极杆，避免污染影响检测精度。
• 保持真空系统的密封性，防止外部空气进入。
• 定期更换检测器的电子倍增管。
• 避免长时间运行在高温或高湿环境中。

四极质谱检漏与其他检漏方法相比有何优势？

• 相比气泡法，四极质谱法更精确且适用于复杂结构。
• 相比压力上升法，四极质谱法更适合微量泄漏检测。
• 相比涂肥皂水法，四极质谱法更高效且无损。

GBT 35049-2018标准的应用场景有哪些？

• 航空航天领域的密封性检测。
• 核工业设备的泄漏监测。
• 半导体制造中的真空腔体检测。
• 医疗设备的密封性验证。