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摘要:本文件规定了光掩模用石英玻璃基板的术语和定义、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体集成电路制造中使用的光掩模石英玻璃基板。
Title:Specification for quartz glass substrate of photomask
中国标准分类号:H21
国际标准分类号:31.140
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拓展解读
在遵循GBT 34178-2017标准的前提下,通过优化流程和资源利用,可以实现成本降低和效率提升。以下是10项可行的弹性方案。