GBT 33838-2017 微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法

GBT 33838-2017主要内容

GBT 33838-2017《微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法》规定了通过扫描电子显微镜（SEM）对图像锐度进行评估的具体方法。该标准适用于评价扫描电子显微镜成像系统的分辨率和清晰度，为科研和工业应用提供统一的评估依据。

• 适用范围：适用于各种材料的表面形貌、微观结构等的观察与分析。
• 评估指标：
  • 图像边缘清晰度
  • 分辨率测试图的对比度
  • 噪声水平
• 测试方法：
  • 使用标准分辨率测试卡
  • 通过软件或人工测量边缘模糊区域宽度
  • 计算图像锐度参数

与老版本的变化

相比老版本，GBT 33838-2017在以下几个方面进行了改进：

• 更精确的测试卡设计：新版本采用了更高精度的标准分辨率测试卡，能够更准确地反映图像锐度。
• 新增噪声评估：增加了对图像噪声水平的定量评估，使评估结果更加全面。
• 优化测试流程：简化了部分操作步骤，提高了测试效率。
• 扩展适用范围：增加了对新型材料和复杂结构样品的支持，适应性更强。