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摘要:本文件规定了高纯工业品三氯氧磷的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以三氯化磷为原料制得的高纯三氯氧磷,主要用于半导体工业和其他相关领域。
Title:High-purity industrial product - Oxytrichlorophosphine
中国标准分类号:C41
国际标准分类号:71.060.01
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拓展解读
GBT 33336-2016 是中国国家标准,规定了高纯工业品三氯氧磷的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等内容。三氯氧磷(POCl₃)是一种重要的化工原料,在半导体制造、电子工业以及医药领域中具有广泛应用。本标准的制定旨在规范产品的质量,确保其在不同领域的应用安全与高效。
根据 GBT 33336-2016 的规定,高纯工业品三氯氧磷的技术指标包括纯度、水分含量、酸度、色度等多个方面。其中,纯度是衡量产品质量的关键指标之一,通常要求达到99%以上。此外,水分含量需控制在极低水平(一般小于50ppm),以避免对后续工艺造成不良影响。这些严格的技术要求为产品的高质量提供了保障。
为了确保产品符合标准要求,GBT 33336-2016 提出了多种科学严谨的试验方法。例如,采用气相色谱法测定纯度,使用卡尔·费休法检测水分含量,通过电位滴定法测量酸度等。这些方法不仅保证了测试结果的准确性,还提高了检测效率。
三氯氧磷在半导体行业中扮演着重要角色,主要用于清洗硅片表面的金属杂质。例如,在某知名半导体制造企业中,他们使用符合 GBT 33336-2016 标准的高纯三氯氧磷,显著提升了芯片生产良率,降低了次品率。这一成功案例充分证明了该标准在实际生产中的指导意义。
GBT 33336-2016 的出台,为高纯工业品三氯氧磷的生产和应用提供了统一的质量基准。通过严格的指标设定和技术规范,该标准有效推动了相关行业的健康发展。未来,随着技术进步和市场需求的变化,该标准有望进一步优化和完善,为更多领域提供支持。