GBT 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

GBT 32188-2015主要内容

该标准规定了通过X射线双晶摇摆曲线半高宽测试氮化镓（GaN）单晶衬底的方法。此方法主要用于评估氮化镓单晶材料的晶体质量和结晶完整性。

• 适用范围：适用于氮化镓单晶衬底片的质量检测。
• 测试原理：
  • 利用X射线衍射技术，通过双晶摇摆曲线测量半高宽。
  • 通过半高宽值反映晶体缺陷和应力分布情况。
• 设备要求：
  • 需要配备高分辨率的X射线衍射仪。
  • 测试环境需保持稳定温度和湿度。
• 测试步骤：
  • 样品制备：确保表面清洁和平整。
  • 仪器校准：调整衍射角度和参数。
  • 数据采集：记录摇摆曲线并计算半高宽。
• 结果分析：
  • 半高宽越小，表示晶体质量越高。
  • 提供具体数值用于质量分级。

与老版本的变化

相比老版本，新标准在以下几个方面进行了改进：

• 更高的精度：引入更先进的X射线衍射技术，提高测量的准确性。
• 更全面的指导：增加了详细的样品制备和测试环境要求。
• 优化的流程：简化了部分步骤，提高了操作效率。
• 扩展的应用场景：增加了对新型氮化镓材料的支持。