GBT 3163-1993 真空技术术语

GBT 3163-1993 真空技术术语

GBT 3163-1993 是关于真空技术术语的标准，用于规范和统一真空技术领域中的专业术语。以下是该标准的主要内容及与老版本的变化。

主要内容

• 基础概念：定义了真空的基本概念，包括真空度、压力单位等。
• 设备与部件：详细描述了各种真空设备和部件的名称及其功能，如真空泵、真空腔体等。
• 测量与检测：列出了真空测量仪器的术语及其工作原理，例如真空计、泄漏检测仪等。
• 应用领域：涵盖了真空技术在不同领域的应用，如半导体制造、航空航天等。

与老版本的变化

• 术语更新：部分术语进行了更新以适应现代技术的发展，例如引入了一些新型真空泵的术语。
• 国际化接轨：增加了与国际标准接轨的部分术语，便于国际交流与合作。
• 结构优化：对标准的结构进行了优化，使内容更加清晰易懂。
• 新增内容：增加了一些新的真空技术相关的术语，反映了新技术的应用和发展。