资源简介
摘要:本文件规定了蓝宝石衬底片翘曲度的测试方法,包括测量原理、设备要求、样品制备、测试步骤和结果计算。本文件适用于蓝宝石衬底片的翘曲度评估,用于半导体器件和光学器件的制造领域。
Title:Test Method for Warpage of Sapphire Substrate
中国标准分类号:L80
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
在遵循GBT 31352-2014标准的前提下,通过灵活调整测试流程和资源分配,可以在保证检测精度的同时实现成本优化和效率提升。