GBT 30652-2023 硅外延用三氯氢硅

GBT 30652-2023 硅外延用三氯氢硅

GBT 30652-2023 是关于硅外延用三氯氢硅的标准，用于规范该材料的生产和质量控制。以下是其主要内容及与老版本的主要变化。

主要内容

• 纯度要求：标准对三氯氢硅的纯度提出了更高的要求，确保其杂质含量更低。
• 物理特性：规定了产品的物理特性指标，如密度、熔点等，以保证其在应用中的稳定性。
• 检测方法：详细描述了如何检测产品的各项指标，包括色谱分析法和光谱分析法。
• 包装与储存：明确了产品包装的要求以及储存条件，以防止污染和变质。

与老版本的变化

• 更严格的纯度标准：相比老版本，新标准对三氯氢硅的纯度要求更加严格，特别是对某些关键杂质的限制更为明确。
• 新增检测项目：增加了新的检测项目，例如痕量金属元素的检测，以提高产品质量的可控性。
• 改进的检测方法：更新了一些检测方法，采用更先进的技术手段，提高了检测的准确性和效率。
• 环境友好性：强调了生产过程中的环保要求，减少了对环境的影响。