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资源简介
摘要：本文件规定了半导体生产设施的电磁兼容性(EMC)要求，包括干扰源的限制和抗扰度的要求。本文件适用于半导体生产设施的设计、建设、运行和维护阶段的电磁兼容性评估与管理。
Title：Requirements for Electromagnetic Compatibility of Semiconductor Manufacturing Facilities
中国标准分类号：L80
国际标准分类号：31.140 -
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拓展解读
GBT 30116-2013主要内容
GBT 30116-2013《半导体生产设施电磁兼容性要求》规定了半导体生产设施中设备的电磁兼容性（EMC）要求。该标准适用于在工业环境中使用的半导体生产设备，旨在确保这些设备不会因电磁干扰而影响其他设备或自身性能。
- 适用范围：涵盖半导体制造过程中涉及的所有设备和系统。
- 测试方法：详细说明了如何进行电磁兼容性测试，包括发射测试和抗扰度测试。
- 限值要求：明确了设备在不同频率范围内的电磁发射限值和抗扰度要求。
- 安装指南：提供了设备安装时的电磁兼容性设计建议。
与老版本的变化
相比老版本，GBT 30116-2013在以下几个方面进行了更新和改进：
- 更严格的限值：新版本对电磁发射和抗扰度的要求更加严格，以适应现代半导体技术的发展。
- 新增测试项目：增加了对高频干扰和瞬态脉冲的测试要求。
- 优化测试方法：改进了测试方法，使其更具可操作性和准确性。
- 扩展应用领域：涵盖了更多类型的半导体生产设备，增强了标准的适用性。
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