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资源简介
摘要：本文件规定了使用离子束溅射去除样品表层材料并结合表面敏感分析技术进行深度剖析的方法和程序。本文件适用于通过溅射深度测量对固体材料的化学成分、元素分布及薄膜结构进行分析。
Title：Surface chemical analysis - Depth profiling - Sputter depth measurement
中国标准分类号：J83
国际标准分类号：71.040.50 -
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拓展解读
GBT 29557-2013主要内容
GBT 29557-2013《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》规定了通过溅射法进行深度剖析的测量方法，用于评估材料的深度分布特性。标准涵盖了实验原理、设备要求、样品制备、测量步骤以及结果分析等内容。
对比老版本的变化
与旧版本相比，GBT 29557-2013在以下几个方面进行了更新和改进：
- 测量精度提升：新版本引入了更精确的校准方法，提高了深度测量的准确性。
- 设备要求细化：对溅射设备的技术参数提出了更高的要求，并增加了对环境条件的规范。
- 样品制备优化：明确了更多种类样品的制备流程，确保不同材料的测试一致性。
- 数据分析增强：新增了数据处理的数学模型，支持更复杂的深度剖面分析。
- 安全规范加强：补充了操作过程中的安全注意事项，以保障实验人员的安全。
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