资源简介
摘要:本文件规定了用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于采用区熔拉晶法制备的多晶硅棒的质量评价。
Title:Specification for Evaluation of Polysilicon Rods by Zone Melting Crystal Pulling Method and Spectral Analysis Method
中国标准分类号:J73
国际标准分类号:29.050
封面预览
拓展解读
本标准规定了用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的方法,包括适用范围、术语和定义、试验原理、仪器设备要求、样品制备、测试步骤以及结果处理等。