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资源简介
摘要：本文件规定了用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于采用区熔拉晶法制备的多晶硅棒的质量评价。
Title：Specification for Evaluation of Polysilicon Rods by Zone Melting Crystal Pulling Method and Spectral Analysis Method
中国标准分类号：J73
国际标准分类号：29.050 -
封面预览
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拓展解读
GBT 29057-2023主要内容
本标准规定了用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的方法，包括适用范围、术语和定义、试验原理、仪器设备要求、样品制备、测试步骤以及结果处理等。
与老版本的变化
- 适用范围：新版本增加了对某些新型多晶硅材料的适用性说明。
- 术语和定义：更新了一些专业术语的定义，以更准确地反映当前技术发展。
- 试验原理：对区熔拉晶法的原理进行了优化描述，使其更加清晰易懂。
- 仪器设备要求：新增了几种推荐使用的高精度检测设备，并对现有设备提出了更高的精度要求。
- 样品制备：改进了样品制备的具体操作流程，提高了实验结果的一致性和可靠性。
- 测试步骤：细化了光谱分析法的操作步骤，增加了对异常数据的处理方法。
- 结果处理：加强了对测试结果的统计分析要求，引入了更多现代数据分析工具。
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