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摘要:本文件规定了使用俄歇电子能谱和X射线光电子能谱进行横向分辨率测定的方法。本文件适用于表面化学分析中对样品微区成分及结构的高精度表征。
Title:Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution
中国标准分类号:J72
国际标准分类号:71.040.50
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拓展解读
GBT 28632-2012 是关于表面化学分析的标准,具体涉及俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的横向分辨率测定。该标准提供了详细的测试方法和要求,以确保测量结果的准确性和可重复性。