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摘要:本文件规定了按粒子浓度划分表面洁净度等级的方法和要求。本文件适用于洁净室及相关受控环境中表面洁净度的评估和管理。
Title:Cleanrooms and associated controlled environments — Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
中国标准分类号:J83
国际标准分类号:13.040.30
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拓展解读
该标准规定了根据粒子浓度划分表面洁净度等级的方法,适用于洁净室及相关受控环境中表面洁净度的评估和分类。