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资源简介
摘要：本文件规定了洁净室及相关受控环境中空气中纳米粒子浓度的监测技术要求，包括监测方法、设备要求、数据处理和记录等内容。本文件适用于洁净室及相关受控环境中纳米粒子浓度的监测与管理。
Title：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 12: Specifications for monitoring airborne nanoparticle concentrations
中国标准分类号：J83
国际标准分类号：13.040.30 -
封面预览
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拓展解读
GBT 25915.12-2021主要内容
GBT 25915.12-2021《洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求》规定了在洁净室及相关受控环境中监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。主要包括以下几个方面：
- 适用范围：适用于监测空气中直径小于100纳米的粒子浓度。
- 技术指标：明确了监测设备的灵敏度、分辨率和准确性等关键性能指标。
- 测试方法：详细描述了如何进行纳米粒子浓度的采样和测量，包括采样点的选择和数据处理方法。
- 维护与校准：提出了设备的定期维护和校准要求，以确保监测结果的可靠性。
与老版本的变化
相比老版本，GBT 25915.12-2021有以下主要变化：
- 更严格的灵敏度要求：新版本对监测设备的灵敏度提出了更高的要求，以适应更精确的检测需求。
- 新增测试方法：增加了新的采样和测量方法，提高了测量的准确性和可靠性。
- 扩展的应用场景：扩大了标准的应用范围，涵盖了更多类型的洁净室和受控环境。
- 强化校准要求：对设备的校准频率和方法进行了更详细的说明，以确保长期使用的准确性。
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