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资源简介
摘要：本文件规定了使用仪器化纳米压入试验方法测定薄膜材料的压入硬度和弹性模量的术语、定义、符号、原理、设备要求、试样制备、试验步骤、数据处理及结果报告。本文件适用于厚度范围为10 nm至几微米的薄膜材料的机械性能测试。
Title：Instrumental Nanoindentation Test Method for Measuring Indentation Hardness and Elastic Modulus of Thin Films
中国标准分类号：J83
国际标准分类号：19.060 -
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拓展解读
GBT 25898-2010 主要内容
该标准规定了用于薄膜材料的仪器化纳米压入试验方法，旨在测量薄膜的压入硬度和弹性模量。标准涵盖了试验设备的要求、试样的制备、试验条件的选择以及数据处理的方法。
- 试验设备要求：明确仪器化纳米压入设备的技术指标，包括加载精度、位移分辨率等。
- 试样制备：详细描述了薄膜样品的制备过程，包括表面清洁、厚度测量等。
- 试验条件选择：提供了加载速率、最大载荷等参数的选择依据。
- 数据处理：定义了如何通过压入深度和载荷的关系曲线计算硬度和弹性模量。
与老版本的变化
- 设备精度提升：新版本对仪器的加载精度和位移分辨率提出了更高的要求。
- 试样制备改进：增加了对薄膜表面状态的具体要求，并强调了厚度测量的重要性。
- 数据分析方法更新：引入了更先进的数据分析技术，提高了测试结果的准确性和可靠性。
- 适用范围扩展：新版本增加了对更多种类薄膜材料的支持，适应了更广泛的应用场景。
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